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传感器就是电子系统的眼睛、耳朵和手，可让系统捕捉到环境的状态。信号捕捉与传感器输入的处理是一种精细的过程，需要对信号有详细的了解。在硅片上集成传 感器功能可提升性能、提供更佳的信号处理以及更低的总系统成本。基于硅的MEMS(微机电系统)传感器开辟了全新的领域和应用。本研讨会讨论微机械结构形 成可变电容的基本MEMS传感器概念，以及它如何转变为有用的运动信号。应用包括多种运动检测、旋转检测、甚至声音检测，还会讨论如何测试和校准这些器 件。