MEMS 慣性センサー

慣性センシングは、加速度、傾斜角、衝撃、振動、回転、多自由度（DoF）などの動きの検出・計測を行い、工業、医療、通信、民生、自動車など市場を差別化する広範なアプリケーションを実現します。業界をリードするMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）によって革新をもたらすアナログ・デバイセズは、加速度センサーやジャイロスコープなどのiMEMS®慣性センシング・デバイスや集積慣性計測ユニット（IMU）などのiSensor®インテリジェント・センサーを提供しています。これらの技術は、民生用ゲーム機器、運動モニタ、自動車用エアバッグの起動、工業用機械装置の予測メンテナンスなどのアプリケーションで活用されています。

製品セレクションテーブル

慣性センシングの種類

加速度センシング
加速度センシングとは？

加速度センシングとは、物体が直線または軸に沿って1つの地点から別の地点に移動する運動を対象とします。これには、位置や向きなどの並進運動が含まれます。
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傾斜角センシング
傾斜角センシングとは？

傾斜角センシングは、重力方向に対する傾斜角または変位角を計測します。
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回転センシング
回転センシングとは？

回転センシングは角速度、つまり物体の回転速度を計測します。一般に、回転は毎秒当たりの変位角で測定し、ヨー、ピッチ、ロールのいずれかの軸を基準にします。
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衝撃センシング
衝撃センシングとは？

衝撃センシングは、一定のレベルにおける突発的な衝撃を検出します。
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振動センシング
振動センシングとは？

振動センシングは、周期的に発生する加速と減速を検出します。
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自由度（DoF）センシング
自由度（DoF）センシングとは？

多自由度センシングは、加速度や回転など複数の異なるタイプのセンシング機能を組み合わせ、複数の軸を基準とする入力によって行われます。
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キャンペーン

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MEMS Accelerometer

Part#	# of Axes	Range	Sensitivity	-3dB Bandwidth	Sensitivity Accuracy (%)	Output Type	Noise Density (µg/rtHz)	Voltage Supply (V)	Supply Current	Automotive Qualified	Temp Range (°C)	Package	US Price 1000-4999
ADXL203 Reference Circuit Available	2	+/- 1.7g, +/- 18g, +/- 5g	1000 mV/g	2.5KHz	4	Analog	110	3 to 6	700µA	-	-40 to 125°C	5mm x 5mm x 2mm LCC	$9.87
ADXL325	3	+/- 5g	174 mV/g	1.6KHz	10	Analog	250	1.8 to 3.6	350µA	-	-40 to 85°C	4mm x 4mm LFCSP	$2.38
ADXL327	3	+/- 2g	420 mV/g	1.6KHz	10	Analog	250	1.8 to 3.6	350µA	-	-40 to 85°C	4mm x 4mm LFCSP	$2.38
ADXL345 Reference Circuit Available	3	+/- 2/4/8/16g	up to 256 LSB/g	1.6KHz	10	Digital	-	2.0 to 3.6	145µA	-	-40 to 85°C	3mm x 5mm x 1mm LGA	$3.04
ADXL346	3	+/- 2/4/8/16g	up to 256 LSB/g	1.6KHz	10	Digital	-	1.7 to 2.75	145µA	-	-40 to 85°C	3mm x 3mm x 0.95 mm LGA	$3.04
ADXL001	1	+/- 70g	16 mV/g (+/- 70g)	22KHz	-	Analog	4000	3.135 to 6	5mA	-	-40 to 125°C	5mm x 5mm Ceramic LCC	$13.29
ADXL103	1	+/- 1.7g, +/- 18g, +/- 5g	1000 mV/g	2.5KHz	4	Analog	110	3 to 6	700µA	Yes	-40 to 125°C	5mm x 5mm x 2mm LCC	$8.2
ADXL180	1	50 g to 500 g	0.125 g/LSB (50 g), 1.25 g/LSB (500 g)	800Hz	-	Digital	-	5 to 14.5	7.7mA	-	-40 to 125°C	CP-16	**
ADXL193	1	+/- 250g	8 mV/g	400Hz	5	Analog	5000	4.75 to 5.25	1.5mA	Yes	-40 to 125°C	E-8	$6.68
ADXL206	2	+/- 5g	312 mV/g	-	-	Analog	110	4.75 to 5.25	700µA	-	-40 to 175°C	8-Lead SBDIP	$569
ADXL212	2	+/- 2g	12.5 %/g	500Hz	12.5	Digital	-	3 to 5.25	700µA	-	-40 to 85°C	8-Lead LCC	$9.87
ADXL213	2	+/- 1.2g	30 %/g	2.5KHz	10	PWM	160	3 to 6	700µA	-	-40 to 85°C	5mm x 5mm x 2mm LCC	$10.33
ADXL278	2	+/- 70g	27mV/g	400Hz	5	Analog	1800	4.75 to 5.25	2.2mA	Yes	-40 to 105-	5mm x 5mm Ceramic LCC	$7.84
ADXL312	3	+/- 12 g	345 LSB/g	1.6KHz	-	Digital	340	2.0 to 3.6	170µA	Yes	-40 to 105°C	5mm x 5mm LFCSP	$5.34
ADXL326	3	+/- 16g	57 mV/g	1.6KHz	10	Analog	250	1.8 to 3.6	350µA	-	-40 to 85°C	4mm x 4mm LFCSP	$2.38
ADXL335	3	+/- 3g	300 mV/g	1.6KHz	10	Analog	300	1.8 to 3.6	350µA	-	-40 to 85°C	4mm x 4mm LFCSP	$2.38
ADXL337	3	+/- 3g	300 mV/g	1.6KHz	-	Analog	175	1.8 to 3.6	300µA	-	-40 to 85°C	3mm x 3mm LFCSP	$1.57
ADXL343	3	+/- 2/4/8/16g	256 LSB/g	320Hz	-	Digital	-	2.0 to 3.6	-	-	-	-	$1.15
ADXL344	3	+/- 2/4/8/16g	-	3.2KHz	-	SPI	-	1.7 to 2.75	140µA	-	-	-	$1.15
ADXL350	3	+/- 2/4/8g	up to 256 LSB/g	3.2KHz	-	SPI	-	2.0 to 3.6	166µA	-	-40 to 85°C	-	$4.57
ADXL362 Reference Circuit Available	3	+/- 2/4/8g	1 to 4 mg/LSB	200Hz	-	Digital	175	1.6 to 3.5	1.8µA	-	-40 to 85°C	-	$3.97
ADXL377	3	+/- 200g	6.5 mV/g	1.6KHz	-	Analog	2400	3 to 3.6	300µA	-	-40 to 85°C	-	$4.79
ADXL78	1	+/- 70g	27mV/g	400Hz	5	Analog	1800	4.75 to 5.25	1.3mA	Yes	-40 to 105-	5mm x 5mm Ceramic LCC	$5.58

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iSensor MEMS Accelerometer Subsytems

Part#	Output Type	Sensing Axis	Range	-3dB Bandwidth	Voltage Supply (V)	Sensitivity	Sensitivity Accuracy (%)	Temp Sensor	Package
ADIS16003	SPI	X, Y	+/- 1.7g	2.25KHz	3 to 5.25	1.22 mg/LSB	7	Yes	7mm x 7mm LGA
ADIS16006	SPI	X, Y	+/- 5g	2.25KHz	3 to 5.25	3.91 mg/LSB	6	Yes	7mm x 7mm LGA
ADIS16201	SPI	X, Y	+/- 1.7g	2.25KHz	3 to 3.6	0.10 °/LSB	1	Yes	9 mm x 9mm LGA
ADIS16203	SPI	Z	+/- 180°	2.25KHz	3 to 3.6	0.025 °/LSB	-	Yes	9 mm x 9mm LGA
ADIS16204	SPI	X, Y	+/- 70g X & +/- 37g Y	40Hz	3 to 3.6	17.13 mg/LSB	-	Yes	9 mm x 9mm LGA
ADIS16209	SPI	X, Y	+/- 90° or +/- 180°	50Hz	3 to 3.6	0.025 °/LSB	0.4	Yes	9 mm x 9mm LGA
ADIS16210	SPI	X, Y, Z	+/- 1.7g	50Hz	3.15 to 3.6	-	0.21	Yes	-
ADIS16220	SPI	X	+/- 70g	1KHz	3.15 to 3.6	19.073 mg/LSB	-	-	9.2mm x 9.2mm LGA
ADIS16223	SPI	X, Y or Z	+/- 70g	14.25KHz	3.15 to 3.6	4.768 mg/LSB	5	-	-
ADIS16227	SPI	X, Y, Z	+/- 70g	9KHz	-	-	5	-	-
ADIS16228	SPI	X, Y, Z	-	5KHz	3.15 to 3.6	-	6	Yes	-
ADIS16240	SPI	X, Y, Z	+/- 18g	1.6KHz	2.4 to 3.6	51.4 mg/LSB	-	-	12 mm x 12 mm BGA

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iSensor MEMS Inertial Measurement Units

Part#	Gyro Range	Bias Tempco °/sec/°C	In-Run Bias (°/hr)	ARW (°/sqrt hr)	Linear-g (°/sec/g)	Accelerometer Range	In-Run Bias (mg)	Max Pos Supply (V)	Package Size (mm)	US Price 1000-4999
ADIS16300	+/ - 300 °/s	0.1	25	1.9	0.05	+/-3 g	0.054	5.25V	23x31x6.3	$74
ADIS16305	+/ - 300 °/s	0.006	25	1.9	0.05	+/-3 g	0.037	5.25V	23x31x6.3	$96
ADIS16334	+/ - 300 °/s	0.01	25	-	0.05	+/-5 g	0.1	5.25V	24.1x32.7x10.6	$336
ADIS16360	+/ - 300 °/s	0.025	25	2	0.05	+/-18 g	0.2	5.25V	23x23x23	$287
ADIS16362	+/ - 300 °/s	0.01	25	2	0.05	+/-1.7 g	0.041	5.25V	23x23x23	$336
ADIS16364	+/ - 300 °/s	0.01	25	2	0.05	+/-5 g	0.1	5.25V	23x23x23	$336
ADIS16365	+/ - 300 °/s	0.01	25	2	0.05	+/-18 g	0.2	5.25V	23x23x23	$375
ADIS16367	+/ - 300 °/s	0.01	47	2	0.05	+/-18 g	0.2	5.25V	23x23x23	$403
ADIS16375	+/ - 300 °/s	0.005	12	1	0.013	+/-18 g	0.1	3.6V	47x44x14	$649
ADIS16385	+/ - 300 °/s	0.004	6	0.75	0.03	+/-5 g	0.05	5.15V	44x35.6x38.9	$869
ADIS16400	+/ - 300 °/s	0.025	25	2	0.05	+/-18 g	0.2	5.25V	23x23x23	$320
ADIS16405	+/ - 300 °/s	0.01	25	2	0.05	+/-18 g	0.2	5.25V	23x23x23	$412
ADIS16407	+/ - 300 °/s	0.01	25	1.9	0.05	+/-18 g	0.2	5.25V	23x23x23	$444
ADIS16445	+/- 250 °/s	40	12	0.56	0.015	+/-5 g	0.075	3.45V	24.1x37.7x10.8	$395
ADIS16448	+/- 1000 °/s	0.005	14.5	-	0.015	+/-18 g	0.25	3.45V	24.1x37.7x10.8	$459
ADIS16480	+/- 450 °/s	0.0025	6.25	0.3	0.009	+/-18 g	0.1	3.6V	47x44x14	$1545
ADIS16485	+/- 450 °/s	0.0025	6.25	0.3	0.009	+/-5 g	0.032	3.6V	47x44x14	$1095
ADIS16488	+/- 450 °/s	0.0025	6.25	0.3	0.009	+/-18 g	0.1	3.6V	47x44x14	$1190

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MEMS Gyroscopes

Part#	Sensitivity	Temp Range (°C)	Noise Density (°/s/rtHz)	-3dB Bandwidth	Range	Output Type	Nonliniarity	Temp Sensor	Voltage Reference	Voltage Supply (V)	Supply Current	Package	US Price 1000-4999
ADXRS622	7 mV/°/s	-40 to 105°C	0.06	2.5KHz	+/- 250 °/s	Analog	0.1% of FS	Yes	No	4.75 to 5.25	3.5mA	7 mm x 7mm x 3mm BGA	$27.24
ADXRS450 Reference Circuit Available	80 LSB/°/s	-40 to 105°C	0.015	80Hz	+/-300 °/s	SPI	0.04% of FS	Yes	No	3 to 5.25	6mA	14-LCC, 16-Lead SOIC	$33.4
ADXRS453 Reference Circuit Available	80 LSB/°/s	-40 to 105°C	0.015	775Hz	+/ - 300 °/s	SPI	0.05% of FS rms	Yes	No	3 to 5.25	6mA	14-LCC, 16-Lead SOIC	$48.24
ADXRS620	6 mv/°/s	-40 to 105°C	0.05	2.5KHz	+/-300 °/s	Analog	0.1% of FS	Yes	No	4.75 to 5.25	3.5mA	7 mm x 7mm x 3mm BGA	$27.24
ADXRS623	12.5mV/°/s	-40 to 105°C	0.04	3KHz	+/- 150 °/s	Analog	0.1% of FS	Yes	No	4.75 to 5.25	3.5mA	7 mm x 7mm x 3mm BGA	$27.24
ADXRS624	25 mV/°/s	-40 to 105°C	0.04	1KHz	+/- 50 °/s	Analog	0.1% of FS	Yes	No	4.75 to 5.25	3.5mA	7 mm x 7mm x 3mm BGA	$27.24
ADXRS642	7 mV/°/s	-40 to 105°C	0.02	2KHz	+/- 250 °/s	Analog	0.1% of FS	Yes	No	4.75 to 5.25	3.5mA	7mm x 7mm x 3mm BGA	$41.85
ADXRS646	9 mV/°/s	-40 to 125°C	0.01	1Hz	+/- 250 °/s	Analog	0.01% of FS	Yes	-	5.75 to 6.25	4mA	7 mm x 7mm x 3mm BGA	$61.82
ADXRS649	0.1 mV/°/s	-40 to 105°C	0.25	2KHz	+/- 20000 °/s	Analog	0.1% of FS	Yes	No	4.75 to 5.25	3.5mA	7 mm x 7mm x 3mm BGA	$58.59
ADXRS652	7 mV/°/s	-40 to 105°C	0.06	2.5KHz	+/- 250 °/s	Analog	0.1% of FS	Yes	No	4.75 to 5.25	3.5mA	7 mm x 7mm x 3mm BGA	$21.69
ADXRS800	-	-40 to 105°C	-	-	+/-300 °/s	SPI	-	Yes	-	3 to 5	-	16-Lead SOIC	**

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iSensor MEMS Gyroscope Subsystems

Part#	Output Type	Range	-3dB Bandwidth	Sensitivity	Noise Density (°/s/rtHz)	Voltage Supply (V)	Supply Current	Package	US Price 1000-4999
ADIS16060	SPI	+/- 80 °/s	1KHz	0.0122 °/s/LSB	0.04	4.75 to 5.25	6.5mA	8mm x 8mm LGA	$35.37
ADIS16080	SPI	+/- 80 °/s	40Hz	0.098 °/s/LSB	0.05	4.75 to 5.25	7mA	8mm x 8mm LGA	$35.37
ADIS16130	SPI	+/- 250 °/s	300Hz	0.000042 °/s/LSB	0.0125	4.75 to 5.25	73mA	36 mm x 44 mm Mod	$504.99
ADIS16133	SPI	+/- 1400	335Hz	0.05 °/s/LSB	0.0122	4.85 to 5.15	88mA	36 mm x 44 mm Mod	$548
ADIS16135	SPI	+/ - 300 °/s	-	0.0122 °/s/LSB	0.0122	4.75 to 5.25	88mA	36 mm x 44 mm Mod	$499
ADIS16136	SPI	-	380Hz	-	-	4.75 to 5.25	120mA	-	$649
ADIS16260	SPI	+/- 80 to +/- 320 °/s	335Hz	0.0183 °/s/LSB	0.044	4.75 to 5.25	41mA	11.1 mm x 11.1mm LGA	$42.48
ADIS16265	SPI	+/- 80 to +/- 320 °/s	-	0.0183 °/s/LSB	0.044	4.75 to 5.25	41mA	11.1 mm x 11.1mm LGA	$56.57
ADIS16266	SPI	-	360Hz	4.1 LSB/°/s	-	4.75 to 5.25	41mA	-	$84

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